HANDLING IM ULTRA-HOCHVAKUUM

AsysF2356

Anwendungsbeispiel im Ultra-Hochvakuum

ASYS verfügt über eine langjährige Erfahrung im Umgang mit UHV. Die Standardkomponenten der Hochvakuumroboter werden durch Oberflächenveredelung, angepasste Schmierstoffe, dem Ersatz von temperaturempfindlichen Materialien und konsequenter Vermeidung virtueller Lecks zu UHV-tauglichen Robotern.

Diese werden schon vor der Montage so weit wie möglich von Wasser und anderen Belägen auf der Oberfläche befreit und in einer Stickstoffatmosphäre belüftet. Sämtliche dichtungsrelevanten Teile werden mehrstufig mit Helium auf Undichtigkeiten geprüft und verschiedene Dichtungsvarianten reduzieren die Leckrate, auch für He, auf niedrige Werte. Ausheiztemperaturen bis 120°C sind Standard.

Eine der Vorreinigung entsprechende Endreinigung ermöglicht in der Kombination mit einer Metallverpackung die schnelle Inbetriebnahme und damit geringe Verunreinigung des bestehenden Systems.

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