ASYS ist einer der Pioniere im Ultra Clean Handling. Im Rahmen der Konzeption der EUV Lithografie wurden ASYS Roboter für fettfreie Umgebungen entwickelt.
Diese Roboter emittieren keine nachweisbaren VOC (volatile organic compounds). Gleichzeitig wird eine sehr geringe Partikelemission erreicht.
Neben VOC-sensitiven Umgebungen sind diese Roboter auch für extrem partikelarme Umgebungen geeignet.