Micronicfabs
Komplette Handlingsysteme von ASYS
Die Firma ASYS verfügt über langjährige Erfahrung im Bereich des Vakuumhandlings. Die ersten ASYS Vakuumplattformen wurden vor mehr als 20 Jahren entwickelt, gefertigt und an unsere Kunden geliefert. Teilweise sind diese Systeme auch heute noch, Dank der hohen Qualität der ASYS Produkte, im Einsatz. Bei neuen Anlagen wird die ASYS Erfahrung mit den Anforderungen des Kunden kombiniert, um so ein optimal abgestimmtes System zu liefern.
Besonderheiten der ASYS Vakuumanlagen
- Die Vakuumplattformen zeichnen sich vor allem durch höchste Reinheit im Betrieb der Anlage aus.
- Bei der modularen Konstruktion wird von Anfang an Wert auf ein hohes Maß an Wartungs- und Servicefreundlichkeit gelegt.
- ASYS Vakuumplattformen sind mit integrierten Pumpen und Ventilständen ausgeführt.
- Sämtliche für den Betrieb der Prozessmodule nötigen Medien können in die ASYS Vakuumplattform integriert werden.
- Die Anzahl der offenen Kabel oder Leitungen sind im Vergleich zum Wettbewerber drastisch reduziert und die Übersichtlichkeit der Anlage deutlich erhöht.
- Das integrierte Konzept führt zu wesentlich kürzeren Montage- und Inbetriebnahme Zeiten der Gesamtanlage beim Kunden.
Die polare Vakuumkammer
Die ASYS Vakuumplattform in polarer Ausführung kann bis zu vier Prozessmodule aufnehmen. Je nach Ausführung der Kammergröße können Substrate von bis zu 450mm gehandelt werden. Die Anbindung der Polarkammer an die Beladestation (Equipment Front End Module = EFEM) erfolgt dabei über zwei jeweils zwischen der Kammer und dem EFEM installierte Transferkammer. In der Transferkammer kann optional je ein Aligner integriert werden. Innerhalb der Vakuumkammer erfolgt der Substrattransfer durch den ASYS Paraliner Roboter welcher sich durch sein hohes Maß an geradeauslauf und vor allem durch seine Eigenschaften im Hinblick auf niedriger Partikelemission auszeichnet.
Die lineare Vakuumkammer
Ein weiterer Baustein im Bereich der Vakuumtechnik bildet die lineare Ausführung der Vakuumkammern. Dieses neue Konzept eignet sich vor allem für Substrate >300mm und kann auch durch die einfache Kombination von mehreren Linearkammern zu einem Cluster verbunden werden.Das Grundprinzip der linearen Vakuumkammer bildet ein evakuierter Tunnel an den die Prozesse beidseitig in Längsrichtung angedockt werden. Im inneren des Tunnels befindet sich ein ASYS Roboter welcher auf einer Linearachse in horizontaler Richtung bewegt wird. Die Anbindung an die Beladestation kann mit der gleichen Ausführung wie bei polaren Kammern ausgeführt werden.
Beide ASYS Vakuumsysteme haben je nach Anwendungsfall ihre spezifischen Vorteile, so kann mit der polaren Variante ein hoher Durchsatz bei niedrigerem Preis erzielt werden. Dies ist vor allem für Anwender von Vorteil, die nie mehr als vier Prozessmodule je Kammer benötigen. Demgegenüber bietet die lineare Ausführung den Vorteil auch für deutlich mehr als vier Prozesskammern Anschlüsse zu liefern. Die lineare Prozesskammer ist bei mehr als vier Prozessanschlüssen kleiner in der Aufstellfläche. Dieser Platzvorteil kann je nach Anwendung bis zu 40% betragen. Vor allem im Zusammenhang mit den hohen Betriebskosten eines Reinraums kann das von entscheidender Bedeutung sein.
